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ビクトレックスのポリマー・ソリューションは半導体製造工程においてパーティクル発生、揮発性汚染ガスを低減させることで生産性、信頼性の向上およびリスクの低減に寄与します。
生産歩留まり向上
パーティクル発生、揮発性汚染ガス、汚染性イオン排出の低減により生産歩留まり向上に寄与。
VICTREX PEEKを半導体製造の主要工程に採用すると、高性能の長期間維持によって製造工程の運用における信頼性を維持することができます。
PEEKポリマーのナンバーワン・エキスパート
優れた耐摩耗性によりVICTREX PEEK製CMPリテーナーリングはPPS製に比べて最大2倍の期間使用でき、ダウンタイムが短縮できるのでスループットが向上ができます。
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