半導体 | 導電性ポリマー - ビクトレックス

メリット

半導体用途の成功事例

ビクトレックスのポリマー・ソリューションは半導体製造工程においてパーティクル発生、揮発性汚染ガスを低減させることで生産性、信頼性の向上およびリスクの低減に寄与します。

Fast Facts

PPSより耐用期間を50%延長

VICTREX PEEK製のCMPリングは、PPSの約2倍の耐摩耗性によってダウンタイム短縮とスループット向上をもたらし、半導体製造工場の生産性を最大3%向上させた実績があります。

Fast Facts

プロセスの迅速化

連続使用温度260°C（500°F）および攻撃性の強い化学薬品下の製造工程でも使用可能 - これは半導体製造工程のウエハ冷却時間の短縮に応用でき、各プロセスの迅速化を可能にします。

Fast Facts

生産歩留まり向上

パーティクル発生、揮発性汚染ガス、汚染性イオン排出の低減により生産歩留まり向上に寄与。

Fast Facts

汚染管理

FM4910準拠のVICTREX™ PEEK材料は、クリーンルーム環境の清浄度を損なう可能性のある粒子やその他の物質の放出を最小限に抑えるように設計されています。

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Fast Facts

PEEKポリマーのナンバーワン・エキスパート

ビクトレックスは世界で初めてPEEKの商品化に成功して以来、この分野における比類なき専門技術とノウハウをもとにお客様の生産性向上に貢献する数々のポリマー・ソリューションを提供して参りました。

ビクトレックスについて

応用分野

半導体製造工程にさらなる信頼性と生産性向上を

VICTREX PEEK製のCMPリテーナーリング採用
= メンテナンスに要するダウンタイム短縮
= スループット増加

優れた耐摩耗性によりVICTREX PEEK製CMPリテーナーリングはPPS製に比べて最大2倍の期間使用でき、ダウンタイムが短縮できるのでスループットが向上ができます。

FOUPおよびウエハー・キャリアの信頼性向上

耐摩耗性・耐薬品性、寸法安定性、ESD、低アウトガスをはじめとするVICTREX PEEKポリマーの物性によって微粒子コンタミを防ぎ、高い信頼性をもつウエハ移送と保管ができます。

レチクルの損壊・汚染を最小限に

VICTREX PEEKによって、低アウトガスでイオン性コンタミのない環境でのレチクル保管ができます。

ファブ向け材料ソリューション

半導体産業におけるチップ生産量と製品出荷までの時間短縮の競争は激しさを増しています。VICTREX PEEKはCMPリテーナーリング、RSP、EUVポッド、FOUP、ウエハ・キャリア、テストソケットなど多くの用途において採用実績があります。

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リソース

技術ガイド

VICTREX PEEKは多くの物性を高次元で併せ持つことにより、厳しい要求性能に高い信頼性で応えてくれます。

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フライヤー

VICTREX PEEKポリマーの各ソリューションは貴重な資産である製造装置をより長く、効率的な運用を可能にします。

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動画

ビクトレックスの材料ソリューションは半導体製造工場のダウンタイム短縮、欠陥・コスト削減をサポートします。

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APTIVフィルムのメリット

VICTREX PEEKの全てのメリットを薄フィルムにしたAPTIVフィルムは半導体および薄型ディスプレイ製造において、ウエハ・キャリア、輸送用テープなどに応用可能です。

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他用途分野

電子部品は高度な構造設計、信頼性、携帯性、コネクティビティなど多くの要求性能を満たす必要があります。多様化・高度化していくユーザー・ニーズをいち早く捉えて製品化すべく、APTIVフィルムをはじめとするビクトレックスのポリマー・ソリューションを採用するOEMおよびブランドが増えています。

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100,000 rpmを超える超高速回転するインペラなどの重要部品を金属代替して、高性能VICTREX PAEKポリマーで樹脂化すればコスト削減、エネルギー効率向上、小型軽量化などが、高い信頼性を維持したまま実現できます。

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歩留まり向上

半導体用途の成功事例

半導体製造工程にさらなる信頼性と生産性向上を

VICTREX PEEK製のCMPリテーナーリング採用 = メンテナンスに要するダウンタイム短縮 = スループット増加

FOUPおよびウエハー・キャリアの信頼性向上

耐摩耗性・耐薬品性、寸法安定性、ESD、低アウトガスをはじめとするVICTREX PEEKポリマーの物性によって微粒子コンタミを防ぎ、高い信頼性をもつウエハ移送と保管ができます。

レチクルの損壊・汚染を最小限に

VICTREX PEEKによって、低アウトガスでイオン性コンタミのない環境でのレチクル保管ができます。

ファブ向け材料ソリューション

APTIVフィルムのメリット

VICTREX PEEK製のCMPリテーナーリング採用
= メンテナンスに要するダウンタイム短縮
= スループット増加