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ビクトレックスのポリマー・ソリューションは半導体製造工程においてパーティクル発生、揮発性汚染ガスを低減させることで生産性、信頼性の向上およびリスクの低減に寄与します。
生産歩留まり向上
パーティクル発生、揮発性汚染ガス、汚染性イオン排出の低減により生産歩留まり向上に寄与。
FM4910準拠のVICTREX™ PEEK材料は、クリーンルーム環境の清浄度を損なう可能性のある粒子やその他の物質の放出を最小限に抑えるように設計されています。
PEEKポリマーのナンバーワン・エキスパート
優れた耐摩耗性によりVICTREX PEEK製CMPリテーナーリングはPPS製に比べて最大2倍の期間使用でき、ダウンタイムが短縮できるのでスループットが向上ができます。
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